中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩,华南向着既定建成投产目标稳步推进。及生本次封顶的产基一期项目占地约 50 亩,PECVD 等微观加工设备研发制造,地期集研发 、封顶装配功能于一体 。广州公司
近日,